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南科大联合研究结果入选2025年度“中国科学(xue)十猛进展”

克日，国家天然科学(xue)基金委员会在2026中关村论坛年会开幕式上发布2025年度“中国科学(xue)十猛进展”，南方(fang)科技大学(xue)深港微(wei)电子学(xue)院李携曦副(fu)传授联合研究团队结果——“创新要领实现规模化(hua)制备柔性超平金刚石薄膜”乐成入选，这也是(shi)南科大结果第四次(ci)入选该榜单。

金刚石凭(ping)借超高硬度、优异载流子迁移率、高介电击(ji)穿强度、杰(jie)出热导率及宽(kuan)禁带特性，被誉为“最终半导体质料”，在电子学(xue)、光子学(xue)等范畴运用潜力突出。但(dan)传统(tong)制备技术难以实现大尺寸、超平坦(tan)金刚石薄膜规模化(hua)临盆，成为限制其家当化(hua)的关键瓶颈。

针对(dui)这一难题，香港大学(xue)褚智勤副(fu)传授、林原传授，南科大李携曦副(fu)传授，北京大学(xue)东莞光电研究院王琦研究员等组成联合团队，研发出大尺寸、超光滑(hua)、超柔性金刚石薄膜规模化(hua)制备新要领，相关结果揭橥于(yu)国际顶级期刊《天然》。

据了解，团队基于(yu)薄膜生长界面(mian)非对(dui)称模型，创新提出“边缘暴露剥离(li)”要领，以“一步法”实现英寸级超薄、超平坦(tan)金刚石薄膜规模化(hua)制备，将传统(tong)数(shu)十小时的制备流程(cheng)收缩至数(shu)秒，大幅提拔服从、降低本钱。所得薄膜兼具亚纳米级粗拙度与(yu)360度弯折(she)本领，超平坦(tan)表面(mian)与(yu)现有CMOS工艺高度兼容，赋予金刚石质料传统(tong)块材没有具有的柔韧性，为高品质金刚石薄膜大规模制备提供可(ke)行路径，有望加速(su)其在下一代高性能(neng)电子器(qi)件、柔性光电子器(qi)件及量子技术等范畴的家当化(hua)历程(cheng)。